台式扫描电子显微镜

发布日期:2022-07-20 浏览次数:975

仪器设备档案卡


仪器名称
  台式扫描电子显微镜
仪器型号
  EM-30+
生产厂家
  COXEMCO.,LTD
购置日期
  2022.5.25
放置地点

仪器
  正常
技术参数

  分辨率: 5.0nm @30kV SE

  放大倍数: 15x – 150,000x

  加速电压: 1kv - 30kv(step1kV)

  磁透镜系统: 双聚光镜

  物镜光阑: 4位可移动,摇摆对中

  扫描光栅电位移及旋转: +/-50um ,0-360°

  样品室: 6个接口,可接配内外置EDS。

  样品台: X=35mm(马达驱动)

       Y= 35mm(马达驱动)

       T=0-45°(马达驱动)    

       R=360°

       Z=5-50mm         

  样品尺寸(最大): 70mm (W) x 45mm (H)

功能特色

  EM-30+高分辨率台式(桌面式)扫描电镜采用大型钨灯丝电镜光路设计,两级透镜一级物镜汇聚,使用二次电子探测器作为基础成像单元。二次电子探测器采集器采用侧位契合式设计,在保证采集信其二次电子分辨率可达全业内最高的5.0nm @30kv SE。EM-30+标配SE+BSE探测器,可以同时刻进行二次电子像和背散射电子像收集,既能实现对样品形貌衬度分析、元素衬度进行分析,又能实现将二者相结合进行分析,打破了传统台式电镜只能得到样品单一衬度像的瓶颈。