纳米压痕仪

  最大载荷: 500mN,最大深度:200um

  试样品压缩过程中的电阻变化。此仪器配置有高精度的载物台和显微镜，可以准确压入样品的微小区域，比如涂层，薄膜结构，也可以准确地对微球进行压缩实验。此仪器配置有快速点阵功能，可以实现样品的大范围压入测试。另外此仪器还配置有Sinus模式，可以实现动态压入测试。