光谱椭偏仪

光谱椭偏仪

SE-VM-L

武汉颐光科技

公共分析测试平台1

正常

1、光谱范围：210~1650nm；可测厚度范围：1nm-10μm；

2、测量时间：＜15秒/次（可调），膜厚重复精度：优于 0.005nm；折射率重复精度：0.0002；

3、入射角范围：45-90°（5°进步）；

4、入射角调节方式：手动变角，手动找焦。