激光刻蚀仪

发布日期:2022-11-26 浏览次数:1059

仪器设备档案卡


仪器名称
  美国优利激光刻蚀仪
仪器型号
  VLS360DT
生产厂家
  美国优利激光
购置日期
  2022/8/4
放置地点
  公共分析测试平台2
仪器
  正常
技术参数

  1.VLS3.60DT激光平台,自动聚焦,增强Z轴;可搭载两种激光波长;

  2.气冷50瓦金属射频激光器--9.3 Pm(C02),免维护;

  3.气冷60瓦金属射频激光器--10.6Pm(C02),免维护;

  4.2.0~光镜组件;

  5.带传感器的标准刻蚀平台;

  6.高功率密度聚焦光学器件(专利),HPDFO光镜组件;

  7.瞄准仪;

  8.内嵌式同轴气流控制装置;

  9.同轴气流控制喷嘴;

  10.吹气保护系统;

  11.激光烟雾净化系统。

功能特色

  1.任何基于Windows打印功能的软件都可以与激光系统一起使用。

  2.可加工现在已有的或者未来新发明的无数种材料。

  3.适合多种应用,可同时完成切割、雕刻、打标和照片打印等多种工作。

  4.非接触式加工,工作时不对工件施加任何外力。

  5.实时加工用户所想所设计的产品,不需要准备模具等。